TCAD 常用的三種程式語言

工具語言

• 用於操作 Sentaurus 工具的指令，例如：
  • snmesh
  • sdevice

預處理語言

• Sentaurus Workbench Preprocessing Language(SPP)：在 SWB 執行指令檔之前，會先翻譯 SPP 語言。(類似於 C 的 macro)
  • 例如：

  #define __x__ 1   // 將所有 __x__ 字串取代成字串 1

TCL

• 公用語言，通常用來處理字串與數據。

範例

• SPP 語言：@...@、#開頭的敘述都是 SPP 語言

#if "@tunneling@ == "Hurkx"
    #define _B2BTunnelModel_ Band2Band(Model=Hurkx)
    #define _B2BTunnelMath_ NoSRHperPotential
#elif "@tunneling@ == "E1"
    #define _B2BTunnelModel_ Band2Band(Model=E1)
    #define _B2BTunnelMath_ NoSRHperPotential
#elif "@tunneling@ == "E1_5"
    #define _B2BTunnelModel_ Band2Band(Model=E1_5)
    #define _B2BTunnelMath_ NoSRHperPotential
#elif "@tunneling@ == "E2"
    #define _B2BTunnelModel_ Band2Band(Model=E2)
    #define _B2BTunnelMath_ NoSRHperPotential
#else
    #define _B2BTunnelModel_
    #define _B2BTunnelMath_
#endif

• TCL 語言：set 與 puts
  • 其中 @…@ 因為是 SPP 語言，故會先被前面定義好的 header 取代，之後才會執向 .cmd 檔。

set A [expr -@BF_Thick@-@AB_Thick@-@GR_Thick@-@CH_Thick@-@ML_Thick@]
puts "DOE: Xmin [format %.2f $A]"